امروزه ارقام حاصل از اندازهگیری به عناوین مختلف و بیشتر از گذشته مورد استفاده قرار می گیرد. بنابراین کیفیت ارقام حاصله از اندازهگیری بطور مستقیم به اندازهگیری هایی بستگی دارد که از سیستم های اندازهگیری (ابزار دقیق) گرفته می شود. اندازهگیری فرایند مقایسهای یک کمیت بین یک استاندارد تعریف شده و یک مقدار مجهول می باشد. در عصر شتاب در پیشرفت علمی، استاندارد خدمات، تولید و گسترش روشهای تولید، روشهای اندازهگیری نیز گسترش در خور توجهی نمودهاند. روشهای اندازهگیری سه بعدی یکی از مهمترین روش های اندازهگیری می باشند. دستگاه های اندازهگیری مختصات (CMM) برای اندازهگیری سه بعدی قطعات و یا هر چیزی که اندازه های آن با پارامترهایی مانند توازی، تعامد، زاویه، ابعاد و… در آن باید به صورت سه بعدی اندازهگیری شوند در صنایع مختلفی نظیر خودرو سازی، ماشین سازی، هوا فضا و مخصوصا علم نوین نانو کاربرد وسیعی دارند. در این مقاله سعی بر این است که درک صحیحی از عملکرد، تاریخچه، بخش های مختلف یک سی.ام.ام، شرایط محیطی و کالیبراسیون یک دستگاه سی.ام.ام و اصول استفاده از آنها در مقیاس نانو ارائه گردد.